DIN 50450-6-1994 半导体技术用材料的试验.载气和掺杂气体中杂质的测定.用气体色谱法和火焰电离探测器测定氮气中CO和CO2

作者:标准资料网时间:2024-05-20 07:17:19 浏览:8979 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofCOandCOinnitrogenbygaschromatographie
【原文标准名称】:半导体技术用材料的试验.载气和掺杂气体中杂质的测定.用气体色谱法和火焰电离探测器测定氮气中CO和CO2
【标准号】:DIN50450-6-1994
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1994-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:氮;二氧化碳;容积测量;掺杂气体;载气;气体;分析;半导体;气相色谱法;碳;半导体工程;惰性气体;化学分析和试验;体积;杂质;材料试验;含量测定;试验设备;半导体材料;半导体工艺;材料;试验
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语

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